製造業

日立ハイテク、次世代顕微鏡「SU9600」を発表

日立ハイテクは、最先端の半導体・材料研究に対応した新世代の超高分解能走査電子顕微鏡（SEM）「SU9600」を発表しました。本装置は、サブナノメートルレベルの観察能力だけでなく、高精度化、高速データ収集、自動化されたイメージングワークフローを提供します。SU9600は、日立独自の冷電界放出電子銃とレンズ内対物レンズの技術を基盤としており、より高い像の安定性、明るさ、信号の明瞭性を実現します。SU9600は、AIを活用した半導体開発が加速する中、ハイスループットかつ高精度な解析への要求が高まっていることに対応します。自動化された観察機能と大規模なデータハンドリングを統合することで、研究および製造プロセスを合理化し、オペレーターの負担を軽減します。関連記事：日立、耐風ドローンのモデリングを進め、日本の航空モビリティに新時代を拓く 日立のデジタル戦略「Lumada 3.0」の一環として、SU9600は...