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日立ハイテクは、このたび、最先端の半導体・液晶製造装置向け新世代の超高分解能走査電子顕微鏡（SEM）「SU9600」を発表しました。

日立ハイテクが日油メタルコーティングスグループと提携。研究開発にはマテリアルズ・インフォマティクス（MI）を活用。

Hitachi and Hitachi High-Tech announced in June 2025 that they had developed a process informatics technology to support…