日立ハイテク、次世代顕微鏡「SU9600」を発表

日立ハイテクは、最先端の半導体・材料研究に対応した新世代の超高分解能走査電子顕微鏡（SEM）「SU9600」を発表しました。本装置は、サブナノメートルレベルの観察能力だけでなく、高精度化、高速データ収集、自動化されたイメージングワークフローを提供します。日立独自の冷陰極電界放出電子銃とレンズ内対物レンズ技術をベースに、より高い像の安定性、明るさ、信号の明瞭性を実現しています。.

SU9600は、AIを活用した半導体開発が加速する中、ハイスループットかつ高精度な解析へのニーズの高まりに対応。自動観測機能と大規模データハンドリングを統合することで、研究・製造プロセスを効率化し、オペレーターの負担を軽減します。.

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日立のLumada 3.0デジタル戦略の一環として、SU9600は、統合産業オートメーションの拡大を目指すプラットフォーム「HMAX for Industry」を支えるデータ生成デジタル資産として機能します。位置づけ 株式会社日立ハイテク’のフラッグシップSEMであるSU9600は、デジタルトランスフォーメーションの次の波を推進する重要なセクターである半導体、エレクトロニクス、先端材料全体にわたって、データ主導のイノベーションを可能にするという当社の役割を強化するものです。.